(1) PVD-Vorbehandlung, einschließlich Reinigung der Gegenstände und Vorbehandlung.Spezifische Reinigungsverfahren schließen Detergens-Reinigung, chemische Lösungsmittel-Reinigung, Ultraschall-Reinigung und Ionenbeschuss-Reinigung ein.
(2) Einbringen in den Ofen, einschließlich Vakuumkammerreinigung und -befestigungen sowie Installation, Inbetriebnahme und Anschluss von Gegenständen und Befestigungen.
(3) Vakuumieren, im Allgemeinen Pumpen auf 6,6 Pa oder mehr, die Vorderseite der Diffusionspumpe früher öffnen, um die Vakuumpumpe aufrechtzuerhalten und die Diffusionspumpe zu erwärmen.Nachdem das Vorheizen ausreichend ist, wird das Hochventil geöffnet und mit einer Diffusionspumpe auf ein Halbbodenvakuum von 6 × 10 –3 Pa gepumpt.
(4) Backen, Backen der Artikel auf die gewünschte Temperatur.
(5) Ionenbeschuss, das Vakuum beträgt im Allgemeinen 10 Pa bis 10 –1 Pa, die Ionenbeschussspannung ist eine negative Hochspannung von 200 V bis 1 kV, und die Angriffszeit beträgt 15 min bis 30 min.
(6) Vorschmelzen, Einstellen des Stroms zum Vorschmelzen des Materials, Einstellen des Stroms zum Vorschmelzen der Beschichtung und Entgasen für 1 bis 2 Minuten.Verdunstende Ablagerung.Der Verdampfungsstrom wird nach Bedarf eingestellt, bis die gewünschte Abscheidezeit abgelaufen ist.Kühlung, die Artikel werden in der Vakuumkammer auf eine bestimmte Temperatur gekühlt.
(7) Nachdem die Gegenstände herausgenommen wurden, wird die Vakuumkammer geschlossen, das Vakuum auf 1 × 10–1 Pa evakuiert und die Diffusionspumpe auf die zulässige Temperatur gekühlt, bevor die Wartungspumpe und das Kühlwasser abgeschaltet werden können.